MEMS技术简介-概念、市场、制造和应用

发布者:闻天明发布时间:2023-10-23浏览次数:10

演讲者:   王诗男,上海集成电路材料研究院

时间:      2023年10月27日下午 15:00-16:30

邀请人:   信息学院

地点:      教学中心 303

 

摘要:

讲座主题为“MEMS技术简介-概念、市场、制造和应用”。本讲座以定义和实例为导引详细讲解了MEMS的基本概念,以市场和应用论述了MEMS的重要性,深入浅出地讲解了MEMS的主要制造技术,再次以实例展示了MEMS应用在智能社会中起到的重大作用。同时,还强调了微电子技术人才缺乏,激励学生学用结合、学以致用、尽快成为有所作为的微电子人才。

  


报告人简介:

王诗男,博士。曾先后在日本东京大学、东北大学、丰田中央研究所、JST和佳能从事微纳技术20余年,有丰富的MEMS先端技术研发和产业化经验。2017年回国入职上海微技术工业研究院,负责8寸MEMS研发中试线技术,担任上海市战略性新兴产业重大项目「8寸MEMS研发中试线建设」项目负责人。现任上海集成电路材料研究院首席技术专家,受聘为上海大学微电子学院联聘导师。